I. Носители пластин и транспортные компоненты
• Названия материалов: PFA (перфторалкокси смола), PEEK (полиэфирэфиркетон), PP (полипропилен), PC (поликарбонат), PEI (полиэфиримид), антистатический ПК/ПВХ, проводящий ПОМ.
• Типичные компоненты :
• Переносная тележка для вафель (термостойкая, антистатическая, с низким уровнем осадков, используется для хранения и транспортировки вафель)
• Вафельная лодочка (высокотемпературный химический технологический носитель, требует стойкости к износу и химической коррозии)
• Передняя коробка для раздачи пластин (высокая прозрачность, низкая дегазация, защита чистоты пластин)
• Кассета с вафельными пластинами (пакетная транспортировка, низкий уровень выбросов частиц)
• Преимущества совместимости:
• PFA/PTFE: чрезвычайно низкое осаждение ионов металлов, обеспечивающее высокую чистоту процессов.
• PEI: высокая прозрачность, высокая термостойкость (около 170°C), подходит для смотровых окон FOUP.
• Антистатический ПК/ПВХ: подавляет электростатическое повреждение (ESD). • По величине сопротивление составляет примерно 10 ⁶ Ом, используется для перемещения приспособлений.
• Проводящий/ESD POM для транспортных компонентов, более чувствительных к статическому электричеству.
II. Компоненты химико-механической полировки (CMP)
• Названия материалов: PEEK, PPS (полифениленсульфид).
• Типичные компоненты:
• Фиксирующее кольцо CMP (фиксирует кремниевые пластины/кристаллы, износостойкое, химически стойкое, продлевает срок службы)
• Опора полировального диска (сохраняет морфологию поверхности полировального диска и стабильность процесса)
• Преимущества совместимости:
• PEEK: высокая термостойкость (около 260°C), химическая стойкость, подходит для CMP с высокими нагрузками.
• PPS: высокая жесткость, обеспечивает стабильную опору конструкции.
III. Технологическое уплотнение и коррозионностойкие компоненты
• Названия материалов: ПТФЭ (политетрафторэтилен), ПФА, ПВДФ (поливинилиденфторид), ПЭИ.
• Типичные компоненты:
• Вкладыши трубопроводов/клапанов (транспортируют сильные кислоты, щелочи и химические вещества высокой чистоты, чрезвычайно низкий выброс ионов металлов)
• Корпус насоса/вкладыши резервуара (хранят растворы для травления, чистящие средства и другие агрессивные среды)
• Коррозионностойкие соединения и уплотнения (стойкость к...) (для высококоррозионных сред, таких как HF/HNO₃)
• Преимущества совместимости:
• ПТФЭ/ПФА устойчив практически ко всем сильным кислотам и щелочам, подходит для транспортировки жидкостей высокой чистоты.
• ПВДФ сочетает химическую стойкость и устойчивость к ультрафиолетовому излучению, подходит для резервуаров для хранения фармацевтических препаратов.
• PEI имеет низкое газовыделение, совместим с компонентами, совместимыми с чистыми помещениями и вакуумом.
IV. Компоненты очистки пластин и контроля загрязнения
• Материалы: ПФА, ПТФЭ, ПВДФ, ПЭЭК.
• Типичные компоненты:
• Чистящий бак/корзина (устойчив к высоким температурам и кислотам/щелочи, снижает вторичное загрязнение)
• Картридж газового фильтра (поддерживает среду высокой чистоты, низкий уровень выбросов примесей)
• Компоненты системы распыления химикатов (устойчивы к коррозии при распылении химикатов)
• Преимущества совместимости:
• ПТФЭ/ПФА: низкое количество осадков, сохранение чистоты процесса очистки.
• PEEK: устойчив к высоким температурам и химическим веществам, подходит для чистки при высоких температурах.
V. Тестирование упаковки и прецизионных компонентов
• Материалы: PEEK, PAI (полиамид-имид), PI (полиимид), PPS, ПК.
• Типичные компоненты:
• Тестовая розетка (устойчивая к высоким температурам, стабильная по размерам, обеспечивающая надежные электрические соединения)
• IC Tray (упаковка и поддержка испытаний, низкое поглощение влаги, термостойкость)
• Структура поддержки карты датчиков (высокоточное позиционирование, низкое тепловое расширение)
• Компоненты электроизоляции (изоляция и защита, предотвращение коротких замыканий и утечек)
• Преимущества совместимости:
• PEEK: высокая жесткость, устойчивость к высоким температурам (около 250°C), подходит для прецизионных креплений.
• PI/PAI: устойчивость к высоким температурам (около 260°C+), подходит для компонентов, работающих в экстремальных условиях.
• PPS: химически стойкий и высокопрочный, подходит для конструктивных элементов с длительным сроком службы.
• Изоляционный ПК: сочетает в себе изоляцию и обрабатываемость, подходит для корпусов и конструктивных элементов.
VI. Другие вспомогательные компоненты
• Названия материалов: антистатический ПК/ПВХ (окна и листы для чистых помещений), ПОМ (полиоксиметилен), PA66 (нейлон 66), изоляционный бакелит (фенольная смола).
• Типичные компоненты:
• Окна чистых помещений, панели оборудования (антистатические, легко чистятся)
• Приводные шестерни, подшипники, направляющие (самосмазывающиеся, с низким коэффициентом трения, высокой точности)
• Компоненты структурной поддержки оборудования (ударопрочность, стабильность размеров)
• Электроизоляционные элементы конструкции (кронштейны, прокладки, повышающие безопасность и надежность)
• Преимущества совместимости:
• POM/PA66: самосмазывающийся, с низким коэффициентом трения, повышающий эффективность трансмиссии и увеличивающий срок службы.
• Антистатический ПК/ПВХ: подходит для зон, чувствительных к электростатическому разряду.
• Изоляционный бакелит: Классический изоляционный материал, термостойкий, стабильный по размерам.
VII. Соображения выбора и совместимости
• Защита от электростатического разряда: выбирайте антистатические (поверхностное сопротивление примерно 10⁶–10⁹ Ом) или проводящие (более низкое поверхностное сопротивление) решения в зависимости от области, обеспечивая безопасность как персонала, так и оборудования.
• Химическая стойкость и чистота: ПТФЭ/ПФА/ПВДФ являются предпочтительными для влажной обработки/травления/очистки; PEI/PPSU отличаются высокой чистотой и низким газовыделением.
• Температура и прочность: PEEK (около 250°C) предпочтителен для зажима и изоляции при высоких температурах; PI/PAI (приблизительно 260°C+) не является обязательным для экстремальных условий эксплуатации.
• Точность и износостойкость: POM/PA66 предпочтителен для шестерен/ползунов/подшипников; PEEK используется при тяжелых нагрузках или высоких температурах.
• Вакуум и совместимость: материалы с низким выделением газов (такие как… PEI/PPSU) подходят для вакуума и сред с высокой чистотой.
VIII. Варианты доставки, которые мы предлагаем
• Диапазон материалов: PEEK, PEI, PPSU, PSU/PES, PC, PP, PE, PTFE, PFA, FEP, PVDF, ETFE, PA66, POM, бакелит и т. д.
• Методы обработки: прецизионная обработка с ЧПУ, резка на гравировальном станке, горячая гибка/склеивание/сварка и т. д.
