Обработка полупроводниковых пластин требует материалов высочайшей чистоты, химической стабильности и точности. Обычные пластмассы выделяют ионы и частицы, и выход пластин снижается. Они разлагаются во влажных процессах в сильных кислотах/основаниях и деформируются при 100–150 °C, что приводит к потере точности размеров. Они также не соответствуют требованиям к сверхчистой воде и транспортировке химикатов и легко трескаются при обращении с пластинами, что увеличивает затраты на техническое обслуживание. Стержень ПВДФ (поливинилиденфторид, высокоэффективный пластик ПВДФ) решает эти важные проблемы. Он соответствует высоким отраслевым стандартам и позволяет производить высокопроизводительные и стабильные полупроводники.
1.1 Соответствие стандартам SEMI F57. Стержень из ПВДФ полупроводникового класса от AHD соответствует SEMI F57 (издание 2022 г.), основному стандарту для полимеров высокой чистоты в системах распределения сверхчистой воды и химикатов. Эти стандарты контролируют более 29 металлических элементов, анионов и TOC до уровней ppb/ppt, критически важных для предотвращения загрязнения пластин. 1.2 Способность к сверхнизкому загрязнению Стержень из ПВДФ с низким уровнем загрязнения для подложек с экстракцией ионов менее 1 ppb для Na+, K+, Ca2+ и Fe3+. Выброс TOC составляет менее 5 частей на миллиард, что соответствует требованиям сверхчистой воды с сопротивлением 18,2 МОм·см. 32-летний опыт компании AHD в производстве инженерных пластиков гарантирует постоянную чистоту.
2.1 Превосходная химическая совместимость Стержень из ПВДФ для травления полупроводников с коррозионной стойкостью превосходно работает в среде мокрого стенда с HF, BOE, H2SO4, H3PO4 и TMAH. Он показывает потерю веса на 0,12% после 300 часов при 40 °C в 50% H2SO4 согласно тестам ASTM D543, что намного лучше, чем у ПП (2,8%) и обычных пластиков. Его фторированная молекулярная структура предотвращает химическое проникновение, сохраняя механическую целостность. 2.2 Применение стержня из ПВДФ для мокрого стенда Полупроводниковый материал идеально подходит для травления/очистки компонентов резервуаров, держателей пластин и химических трубопроводов. Стержневая заготовка AHD из ПВДФ обеспечивает баланс коррозионной стойкости, обрабатываемости и стоимости. При изготовлении пластин решающее значение имеет предотвращение загрязнения ионами металлов во влажных процессах.
3.1 Параметры тепловых характеристик. Термостойкий стержень из ПВДФ для производства полупроводников работает непрерывно при температуре от -40 °C до +140 °C (кратковременно до 150 °C), что совместимо с типичными температурами процесса полупроводников. Он имеет температуру плавления 172-175°C и температуру теплового отклонения (HDT) 110-120°C. Коэффициент линейного теплового расширения 70–80 ppm/°C обеспечивает стабильность размеров при 100–150°C. 3.2 Надежность процесса при высоких температурах Обычные пластмассы имеют тенденцию деформироваться или размягчаться во время термического отверждения и высокотемпературной очистки, что приводит к выходу детали из строя. Обработка стержневых пластин из ПВДФ высокой чистоты методом AHD сохраняет >95% механической прочности при температуре 120°C, предотвращая деформацию и обеспечивая точное позиционирование пластины.
4.1 Механические свойства и обработка стержня из ПВДФ для полупроводниковых деталей, прецизионная обработка, превосходная жесткость и стабильность Основные свойства: Предел прочности: ≥40 МПа (ASTM D638) Модуль упругости при изгибе: > 2100 МПа Твердость по Шору D: >75 Удлинение при разрыве: >30% Эти свойства обеспечивают жесткие допуски для сложных компонентов, таких как направляющие пластин, штыри и корпуса датчиков. ПВДФ Пластик обрабатывается чисто, без заусенцев и микротрещин, как хрупкий ПТФЭ, что снижает образование частиц. 4.2 Стержень из ПВДФ высокой чистоты, используемый для работы с пластинами Стержень из ПВДФ высокой чистоты для работы с пластинами имеет низкое трение и высокую износостойкость. Гладкая поверхность (Ra < 0,8 мкм) снижает прилипание частиц и, следовательно, риск появления царапин на пластине. Он выдерживает более 10 000 циклов установки без значительного износа, что снижает затраты на техническое обслуживание резки на 40–60% по сравнению с обычными пластиками.
6.1 Многолетний опыт в производстве Компания AHD имеет 32-летний опыт в производстве и поставке стержней из конструкционного пластика, а также стержней из ПВДФ, а также полного спектра листов и стержней из конструкционного пластика. Наши стержни из ПВДФ полупроводникового качества проходят строгий контроль качества, степень чистоты и эксплуатационных характеристик составляет > 99,8%. 6.2 Индивидуальные решения и поставки по всему миру AHD производит специальные стержни из ПВДФ полупроводникового качества (диаметром 15–200 мм, длиной до 2 м). Стержни из ПВДФ для чистых помещений доступны для применения в чистых помещениях и соответствуют стандартам FDA и стандартам чистых помещений. Широкий ассортимент и простая логистика позволяют нам осуществлять быструю доставку и предоставлять клиентам по всему миру прямые цены с завода. Стержень ПВДФ (поливинилиденфторид/пластик ПВДФ) является предпочтительным материалом для обработки полупроводниковых пластин. Он обеспечивает высокую чистоту, устойчивость к агрессивным средам, термическую стабильность и прецизионную обрабатываемость. От стержня из ПВДФ полупроводникового класса до стержня из ПВДФ с низким уровнем загрязнения для держателей пластин — он решает важные задачи в области мокрого травления, высокотемпературного производства и обработки пластин. Обладая 32-летним опытом, полной линейкой продукции и индивидуальными услугами, AHD является вашим надежным партнером в области решений в области полупроводниковых материалов. Хотите узнать больше о тенденциях и решениях в отрасли? Свяжитесь с Каваном Лаем: kawan@anheda.cn/WhatsApp +8613631396593.
Вопрос 1. Почему стержень из ПВДФ лучше, чем из ПТФЭ, для полупроводниковых мокрых стендов? A1: Стержень из ПВДФ имеет лучшую обрабатываемость, более низкую стоимость и более высокую механическую прочность, чем ПТФЭ. Он имеет чистоту SEMI F57 и устойчив к типичным химикатам для мокрого производства (HF, H2SO4, TMAH). ПВДФ предлагает наилучший баланс производительности и стоимости для большинства применений на мокрых стендах. ПТФЭ сложнее обрабатывать, и его стоимость непомерно высока. В2: Какова форма и размер стержня ПВДФ для полупроводников? A2: Компания AHD поставляет стержни из ПВДФ диаметром от 15 мм до 200 мм и длиной до 2 м. Можем поставить натуральные (белые) сорта. Наши стержни из ПВДФ высокой чистоты соответствуют стандартам чистых помещений и пищевых продуктов для различных применений в полупроводниковой промышленности. Если вы являетесь поставщиком, который хочет выйти на рынок высококачественных полупроводников, AHD — ваш надежный партнер в области решений на основе стержней из ПВДФ премиум-класса.
